Технические характеристики ультрафиолетовой глубинной литографии URE - 2000 / 17:
Выровнять с помощью бинокулярного двухполюсного микроскопа; Шаровая чаша выравнивается, монолитное управление, сенсорный переключатель, удобная работа, сильная практичность.

1.Технические параметры

lПлощадь экспозиции:4Дюйм

lДлина волны экспозиции:365nm

lРазрешение:1.5mm(Толщина клея2 mmПрямой клей)

lВыровнять точность:±1mm

lОбщий диапазон движения шаблона:XА.15mm;Y:15mm

lРазмер маски:2.5дюймов,3дюймов,4дюймов,5Дюйм

lРазмер образца: диаметрf15mm--f100mm

Толщина0.1mm--6mm(Можно расширить как15mm)

lРежим экспозиции: таймер (метод обратного отсчета) и фиксированная доза

lНеравномерность освещения: 5В процентах（f100mmСфера охвата)

lБиокулярный двухполюсный микроскоп: как через окулярВизуальное зрениеВыровнять, также можно пройтиCCD+Выравнивание дисплея, оптическое изображение, оптическое максимальное кратное400Удвоить, Оптика+Электронное усиление800Б

Три пары объективов:4В два раза,10В два раза,20Б

Три пары окуляров:10В два раза,16В два раза,20Б

lМаршрут движения маски относительно образца:

X:±5mm; Y:±5mm;qА.±6Б

lМощность амальгамных ламп:200W(Постоянный ток)

lПлотность энергии экспозиции:6mW/cm

2.Внешний размер:650mm(Длинный)А?600mm(Б)А?900mm(Высокий)

3.Настройка

（1) Экспозиционная головка

l200WИмпортные амальгамные лампы постоянного тока(Осман, Германия)

lXYZУстановка для регулирования амальгамных ламп

lОптическая система

lВентилятор охлаждения

（2Направление на рабочий стол

lплощадка для сплошного движения шаблонов

lотносительный стол шаблона

lПоворотный стол

lмеханизм выравнивания образцов,Ручной

lРежим фокусировки образцов, ручной

lПлоскоподшипниковый стол3Всего (f50mm、?75mm、?100mm)

lЗажим маски4Всего (2.5дюймов,3дюймов,4дюймов,5дюймов)

lмеханизм вытягивания шаблона

（3Выровнять микроскоп

lИсточник света (запасные части)2Только), источник питания

lБинокулярное поле зрения к объекту микроскопа

lОчки3Да (10В два раза,16В два раза,20В два раза, всего6Всего)

lОбъект3Да (4В два раза,10В два раза,20В два раза, всего6Всего)

lCCD(Тайвань)

l21ЖК - монитор дюймовый

（4) Электрическая система управления

lЗапуск ртутных ламп(200Wамальгамная лампа постоянного тока)

lавтономная система управления

lкоробка управления

（5Пневматическая система

lЦилиндры, электромагнитные клапаны, редукционные клапаны, пневматические переключатели и т.д.

lПривод электромагнитного клапана

lПневматические приборы

（6) Другие приложения

lВакуумный насос.

lТрубопровод

（7) Техническая информация

lэксплуатационная спецификация

lинструкция по использованию микроскопа