VIP Члены
Эллипсометрическая система SpecEl
Эллипсометрическая система SpecEl
Подробная информация о продукции
Эллипсометр SpecEl-2000-VIS измеряет поляризированный свет, отражающийся от поверхности подложки, для определения толщины и индекса преломления материала в функции длины волны. SpecEl управляется с помощью ПК. Измерите индекс преломления, поглощение и толщину нажатием кнопки. |
Точная система "все в одном"
В SpecEl есть интегрированный источник света, спектрометр и два поляризатора, фиксированных на 70°. Он также включает в себя ПК с 32-разрядной операционной системой Windows. SpecEl может обнаружить один слой толщиной до 0,1 нм и до 5 мкм. Кроме того, он может обеспечить индексы прелома до 0,005°.
SpecEl доступен для Call for Price.
Программное обеспечение SpecEl и файлы "рецептов"
В программном обеспечении SpecEl вы можете настроить исохранять файлы метода эксперимента для одноэтапного анализа. После создания «рецепта» вы можете выбрать рецепт для выполнения эксперимента.
Спецификации
Диапазон длин волн: | 380-780 нм (стандарт) или 450-900 нм (опционально) |
Оптическое разрешение: | 4,0 нм FWHM |
Точность: | толщина 0,1 нм; Индекс преломления 0,005% |
Угол заболеваемости: | 70° |
Толщина пленки: | 1-5000 нм для одной прозрачной пленки |
Размер места: | 2 мм х 4 мм (стандарт) или 200 мкм х 400 мкм (опционально) |
Время отбора проб: | 3-15 секунд (минимум) |
Кинетическая регистрация: | 3 секунды |
Механическая допустимость (высота): | +/- 1,5 мм, угл +/- 1,0° |
Количество слоев: | До 32 слоев |
Ссылка: | Не применяется |
Онлайн - запросы