Кок - кристаллтрёхцелевой магнитный распылитель
Модель:VTC-600-3HD
Обзор продукции:
Трехцелевой магнитный распылитель VTC - 600 - 3HDzuiНедавно разработанное оборудование для покрытия может использоваться для изготовления однослойной или многослойной ферроэлектрической пленки, проводящей пленки, легированной пленки, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки, оксидной пленки, твердой пленки, полифторэтиленовой пленки и т.д. По сравнению с аналогичными устройствами, он не только широко используется, но и имеет преимущества объемного мочеиспускания для работы, является идеальным оборудованием для лабораторной подготовки пленки материала, особенно для лабораторных исследований твердотельных электролитов и OLED и так далее.
Основные особенности:
- Можно изготовить несколько тонких пленок, широко применяемых
- Малый размер, простой в эксплуатации
- Вакуумная камера, вакуумная насосная группа модульная конструкция всей машины, контрольный источник питания для раздельной конструкции, в соответствии с фактическими потребностями пользователя, чтобы отрегулировать спрос на покупку.
- В соответствии с фактическими потребностями пользователя можно выбрать источник питания, один источник питания может управлять несколькими целевыми пушками, а также несколькими источниками питания с одним управлением целевым пистолетом
головка с магнитным распылениемА.
- В приборе установлены три головки с магнитным распылением с водяным охлаждением.
- Одна из головок распыления подключена к радиочастотному источнику питания, в основном к распыляемой изоляционной мишени
- Другая головка распыления подключена к источнику постоянного тока, в основном распыляет проводящую мишень
- Требования к размеру мишени: диаметр 50 мм, толщина 0,1 - 5 мм (варьируется в зависимости от толщины материала мишени)
- Отдельно можно заказать RF - соединение в качестве запасного.
- Оборудование включает в себя водяной охладитель для охлаждения головки мишени
Пробный столА.
- Размер стенда: 140 мм (zuiБольшой фундамент для размещения 4 ')
- Каталог может вращаться со скоростью: 1 - 20 rpm (регулируемый)
- Пробный столzuiВысокая температура нагрева 500 °C
Вакуумная полостьА.
- Вакуумная полость: Фи 300 мм × 300 мм H, изготовлена из нержавеющей стали
- Окно наблюдения: 100 мм
- Способ открытия полости открывается сверху, что облегчает смену цели.
Контроллер расхода газаА.
- Внутри прибора установлены 2 расходомера массы в диапазоне: 0 - 100sccm
- Параметры расхода газа могут работать на 6 - дюймовом сенсорном экране
- Для работы этой системы требуется газ Ar, и на баллоне установлен редуктор давления (не включен в оборудование).
Вакуумная системаА.
- Оснащен системой молекулярных насосов GZK - 103D (немецкого производства)
- Предел 5E - 5mbar 7.4E - 6mbar
Толщина пленкиА.
- Прецизионный кварцевый вибрационный тонкопленочный толщиномер, установленный на приборе, контролирует толщину пленки в реальном времени с разрешением 0,10 А
- На светодиодном дисплее также вводятся данные о изготовленной пленке
Внешний вид изделияА.
- L1300mm × W660mm H1200mm
- Вес нетто: 160 кг
Кок - кристаллтрёхцелевой магнитный распылитель
Модель:VTC-600-3HD
Сертификация качества:Сертификация CE
Использовать подсказкиА.
- Это устройство является DIY - устройством, параметры сильно меняются, перед покупкой обязательно свяжитесь по телефону.
- Чтобы получить лучшее качество пленки, необходимо ввести газ высокой чистоты (рекомендуется > 5N)
- Перед распылением покрытия убедитесь, что головка распыления, мишень, фундамент и стенд для образцов чисты
- Чтобы пленка хорошо сочеталась с фундаментом, очистите поверхность фундамента перед распылением
- Ультразвуковая очистка (подробные параметры нажмите на картинку ниже): (1) ацетон ультразвук (2) изопропанол ультразвук - удаление жира (3) продувание азота сушка (4) вакуумная сушилка для удаления влаги.
- Плазменная очистка: может быть шероховатой поверхности, может активировать химические связи поверхности, может удалять дополнительные загрязняющие вещества.
- Изготовление тонкого буферного слоя (около 5 нм): например, Gr, Ti, Mo, Ta, может быть применено для улучшения адгезии металлов и сплавов.
ПредупреждениеА.
- Примечание: Внутри изделия установлены высоковольтные элементы, запрещается саморазборка, перемещение корпуса под напряжением
- На баллонах должны быть установлены редукторы давления (не включенные в стандартный комплект оборудования), обеспечивающие ограничение выходного давления газа 0,02 МПаНиже, для безопасного использования
- Головка распыления подключена к высокому напряжению. Для обеспечения безопасности оператор должен установить образец и заменить мишень перед выключением оборудования.